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微孔的孔徑分析與介孔和大孔分析有何不同

 更新時間:2018-08-02 點擊量:3226

微孔的孔徑分析與介孔和大孔分析有何不同?

 

   硬件上的不同:
微孔孔徑分析,需要二級渦輪分子泵,氮氣相對壓力P/P0才能夠達到10-7-10-8的要求,才能實現(xiàn)超微孔(0.35nm-0.7nm)的分析;同時,需要小量程、高精度壓力傳感器(10 torr、1 torr或0.1 torr)的合理使用。介孔、大孔孔徑分析,僅需要機械泵及1000 torr大量程壓力傳感器即可實現(xiàn)。
軟件上的不同:
微孔孔徑分析,理論模型一般使用的是HK法、SF法,及DFT法。介孔、大孔孔徑分析,理論模型一般使用的是BJH法。

 

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